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     氧化铝陶瓷因其优良的力学性能、电性能、化学稳定性,是目前应用广泛的一种陶瓷材料。但是其具有脆性较大、断裂韧性较差的特点,断裂韧性一般为2.5~4.5MPa·m1/2,严重限制了其在更广泛领域的应用,由此,提升氧化铝陶瓷的断裂韧性成为行业内的研究重点之一。而氧化锆增韧氧化铝(zirconia toughened alumina,ZTA)陶瓷结合了氧化铝的高强度和硬度与氧化锆的韧性,成为备受关注的先进陶瓷材料。

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半导体制造设备需求拉动,陶瓷部件市场规模全年有望增长15%


研究机构TECHCET日前预测,作为半导体制造设备耗材的陶瓷部件市场规模可能在2022年达到23亿美元,同比增长15%。

该机构指出,陶瓷部件市场受到半导体设备需求的有力拉动,氧化铝、氮化铝、氧化钇等材料的精密陶瓷部件目前被应用于热处理、蚀刻、外延等各类工艺设备。

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TECHCET高级分析师Karey Holland博士表示,随着2020年设备市场升温,半导体工厂已安装设备以及新设备的部件需求显著增长,强劲的增速一直持续至今年上半年。尽管近期存储半导体市场出现疲软迹象,但随着新设备不断交付,陶瓷部件市场增长态势仍将延续,预计晶圆厂资本开支将在2026年之前推动陶瓷部件市场实现8%的复合年增长率。

TECHCET还分析称,随着下游市场前景变化,精密陶瓷部件制造商目前在扩产上态度较为谨慎,CNC数控机床价格明显上涨,供货紧张,烧结陶瓷部件的窑炉现在的交货期也长达12至15个月,新产能建设周期可能从约一年时间拉长到2-2.5年。

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